Ein Vakuumrohrofen gehört zur Gruppe der Heißwand-Vakuumöfen, bei denen das Rohr von außen durch Heizelemente erhitzt wird, die der Umgebungsluft ausgesetzt sind. Je nach Material und Größe des Rohrs variiert die maximale Temperatur im Vakuum. An den Enden des Arbeitsrohrs muss das Rohr für Vakuumflansche angeflanscht werden. Je nach Material und Größe benötigen einige Vakuumrohröfen eine Wasserkühlung, andere arbeiten ohne Kühlwasser.
Natürlich ist Vakuum selbst eine mögliche Atmosphäre für Vakuumrohröfen. Je nach Anwendung kann es sich um Grob-, Fein-, Hoch- oder sogar Ultrahochvakuum handeln. Da in einem Vakuumofen die Atmosphäre vollständig entfernt werden kann, ist es außerdem möglich, mit verschiedenen Gasen oder Gemischen zu arbeiten, wie Argon, Stickstoff, Wasserstoff, Kohlenmonoxid, Helium usw. Bei nichtmetallischen Rohren sind sogar korrosive Gase wie Ammoniak oder Silan und viele andere möglich.
Die Kombination aus maximaler Größe und der für die Anwendung erforderlichen Temperatur entscheidet darüber, ob ein Vakuumrohrofen ausreicht oder ein Kaltwand-Vakuumkammerofen erforderlich ist. Bei Vakuumtemperaturen von 1450°C ist der maximale Innendurchmesser des Rohrs auf 88 mm begrenzt. In diesem Fall ist das Arbeitsrohr ein Verbrauchsmaterial mit begrenzter Lebensdauer und auf Niedertemperaturrampen beschränkt. Größere Abmessungen oder höhere Temperaturen erfordern einen Vakuumkammerofen.
